水質(zhì)案例|盛奧華SH-6500在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

電子半導(dǎo)體行業(yè)的廢水主要來(lái)源于磨板、蝕刻、電鍍、顯影等工序產(chǎn)生的清洗廢水、車(chē)間的地面清洗水、以及超純水沖洗制備晶圓后的廢水等，主要包括含銅、含鎳等重金屬?gòu)U水，含氟廢水、含氰廢水等。這幾類(lèi)廢水的成分復(fù)雜、污染物含量高，對(duì)水體環(huán)境均具有嚴(yán)重的危害和影響。在我國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)《GB39731-2020 電子工業(yè)水污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》中，對(duì)廢水中污染物排放的含量都有嚴(yán)格的限值。加強(qiáng)電子半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)廢水的處理和檢測(cè)一直是急需解決的環(huán)保難題。

比亞迪旗下半導(dǎo)體子公司始終踐行綠色生產(chǎn)理念。在其晶圓制造、封裝測(cè)試等環(huán)節(jié)中，產(chǎn)生的工業(yè)污水含有COD、氨氮、總磷、總氮及重金屬銅等復(fù)雜污染物。為精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)水質(zhì)、優(yōu)化處理工藝并確保排放合規(guī)，企業(yè)引進(jìn)了盛奧華水質(zhì)檢測(cè)儀器，以科技賦能環(huán)保管理升級(jí)。